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推荐产品
管道精密(mi)过(guo)滤器

多晶硅过滤器

产品概述

  在(zai)多晶硅(gui)(gui)生(sheng)产(chan)过(guo)程(cheng)中,还原炉尾气(qi)过(guo)滤(lv)(lv)器(qi)如何(he)选型始(shi)终是一个难点,如过(guo)滤(lv)(lv)器(qi)及过(guo)滤(lv)(lv)面积选择不当,将会导致过(guo)滤(lv)(lv)器(qi)堵死或(huo)硅(gui)(gui)粉过(guo)滤(lv)(lv)不彻底,影(ying)响下(xia)游工艺设备,从而严重影(ying)响系统(tong)的稳定运行。由(you)于(yu)多晶硅(gui)(gui)行业尾气(qi)粉尘具(ju)有颗粒细小、温度高、硬(ying)度高、有耐磨性(xing)等(deng)特点,目(mu)前(qian)使(shi)用(yong)(yong)(yong)效果较好的是本体采用(yong)(yong)(yong)316L材料、滤(lv)(lv)芯采用(yong)(yong)(yong)316L金属(shu)烧结毡(zhan)制(zhi)成(cheng)的过(guo)滤(lv)(lv)器(qi)。此过(guo)滤(lv)(lv)器(qi)可设置成(cheng)手(shou)动反吹或(huo)自动反吹。

应用领域

  ♦ 硅粉输送工序尾气(qi)过滤。

  ♦ 三氯氢(qing)硅合(he)成(cheng)工序合(he)成(cheng)气过滤。

  ♦ 三氯氢硅还原(yuan)工序尾(wei)气过滤(lv)。

  ♦ 四氯化硅氢化工序尾气过滤(lv)。

  ♦ 焚烧尾气过滤。

  ♦ 其(qi)它。

产品列表

1、气体(ti)精密过滤器  2、天燃气(qi)精密过滤(lv)器
3、液体精(jing)密过滤器 4、袋式过(guo)滤(lv)器
5、多晶(jing)硅过滤(lv)器 6、保安过滤器
7、精密过滤(lv)器滤(lv)芯(xin)  

硅粉输送工序尾气过滤系统

过滤器:硅粉过滤器、硅尘过滤器等
工艺介质:硅粉输送(加料)系统产生的含尘废气
工艺参数 气    相:氢气、氮气或其它99.9%;固相:冶金硅粉0.1%(重量) 
颗粒粒度:40~100目
设计性能 过滤效果:固体去除率99.9%
清灰设计:在线分区脉冲反吹(低压系统)
          离线分区脉冲反吹(高压系统)

三氯氢硅合成工序合成气过滤系统

过滤器:合成反应器出口旋风分离器和硅粉过滤器
工艺介质:三氯氢硅合成反应器出口混合气体
工艺参数 气    相:(wt%)H2(1.6%),HCl(3.3%),SiH2Cl2(3.5%)
        SiCl4(13.6%),SiHCl3(77.8%)
固    相:Si 粉(0.3%,max:1%)
工作温度:~200℃;工作压力:0.6Mpa
过滤精度:10µm
设计性能 过滤效果:固体去除率99.9%
滤 芯:316L,10µm
清灰设计:有备用,离线反吹或在线分区反吹;反吹气:氢气

三氯氢硅还原工序尾气过滤系统

过滤器:还原炉尾气过滤器
工艺介质:三氯氢硅还原工序尾气
工艺参数 气    相:(mol%)H2(78.96%),HCl(0.64%),
      SiH2Cl2(1.82%),SiCl4(7.16%),SiHCl3(11.4%)
固    相:无定型 Si 粉
工作温度:~200 ℃;工作压力:~0.6Mpa
过滤精度:1µm
设计性能 过滤效果:固体去除率99.9%
滤 芯:316L,1µm
清灰设计:有备用,离线反吹或在线分区反吹;反吹气:氢气

产品结构图

多晶硅过滤器

产品性能参数

壳体材质 20#、低温钢、不锈钢、双相钢、钛合金、内衬PO、内衬四氟、2205等各种特殊材质
过滤器压力 0.6Mpa、1.0Mpa、1.6Mpa、2.0Mpa、3.2Mpa、4.0Mpa、6.4Mpa,最高至25.0Mpa
温度范围 -280℃~+2000℃
接管口径 DN15~DN1500mm
连接方式 法兰连接、快装连接、螺纹连接、对焊连接
滤芯材质 不锈钢、聚丙烯、PP棉、聚四氟乙燃、钛合金、陶瓷等各种滤芯
过滤精度 0.001um~500um
滤芯长度 250mm、500mm、750mm、1000mm或客户指定长度
进出口方位 上进下出、上进侧出、左进右出、下进上出等各种型式
过滤器可选配件 压差计、变送器、安全阀、电动(气动)排污阀、放空阀、液位计
垫片 聚四氟乙烯垫片、橡胶垫片、金属内外环垫片、金属石墨垫片或客户指定
过滤器外面处理 采用内外抛光处理,达到卫生级标准,也可喷砂处理。
  上海J9九游会AG建议客户最好来电咨询,J9九游会AG 的工程师会免费根据贵公司的工况及参数选择最合理的过滤器

产品实物图

多晶硅过滤器
 
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多晶硅过滤器
 
     

订货须知

  订(ding)货(huo)时请(qing)标注如下参数(shu):型号、口径、材质、压力、法兰标准、过滤(lv)精度、数(shu)量,如客户对产品有特(te)殊要求,请(qing)在询价时一并提出(chu)。

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